隨著全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,半導(dǎo)體材料已成為二十一世紀(jì)信息社會(huì)和大數(shù)據(jù)時(shí)代高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)的基礎(chǔ)材料。電子氣體作為極大規(guī)模集成電路、平面顯示器件、化合物半導(dǎo)體器件、太陽(yáng)能電池、光纖等電子工業(yè)生產(chǎn)中不可缺少的基礎(chǔ)和支撐性材料之一,被廣泛應(yīng)用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴(kuò)散等工藝,沒(méi)有這些基本原材料,其下游的IC、LCD/LED、光伏太陽(yáng)能等就無(wú)法制造,這樣我國(guó)制造成本必將被少數(shù)原料供應(yīng)商控制,因此中國(guó)電子氣體的發(fā)展對(duì)我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展起著至關(guān)重要的作用。
作為全球電子產(chǎn)品制造大國(guó),近年來(lái)中國(guó)電子信息產(chǎn)業(yè)的全球地位迅速提升,產(chǎn)業(yè)鏈日漸成熟,為中國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展提供了機(jī)遇。經(jīng)過(guò)近十年努力,中國(guó)內(nèi)地已初步形成集成電路產(chǎn)業(yè)、制造材料和零部件供應(yīng)鏈雛形,并推動(dòng)中國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)進(jìn)入新的黃金發(fā)展期,中國(guó)市場(chǎng)已成為全球集成電路市場(chǎng)增長(zhǎng)的主要推動(dòng)力之一。
隨著半導(dǎo)體集成電路技術(shù)的發(fā)展,對(duì)電子氣體的純度和質(zhì)量要求越來(lái)越高,我國(guó)電子氣體目前發(fā)展目標(biāo)是增加品種、增加產(chǎn)量、提高國(guó)產(chǎn)化率,并向完成對(duì)特氣生產(chǎn)及應(yīng)用的全套技術(shù)開(kāi)發(fā)的目標(biāo)努力,技術(shù)包括:高危、易燃易爆、腐蝕性、劇毒氣體純化、監(jiān)測(cè)、充裝、輸送、貯存技術(shù),以及安全、環(huán)保技術(shù)、現(xiàn)場(chǎng)配氣技術(shù)、回收與再利用技術(shù)等。
同時(shí)為提高混合氣使用效率,解決安全使用和運(yùn)輸電子氣體,特別是高純氟氣的問(wèn)題,以推動(dòng)綠色氣體的使用,以及滿足降低處理廢氣成本和環(huán)保要求,從而確定高純電子氣體發(fā)展方向?yàn)椋壕G色氣體、現(xiàn)場(chǎng)發(fā)生技術(shù)和回收技術(shù)。
中國(guó)電子氣體是僅次于硅片和硅基材料的第二大市場(chǎng)需求半導(dǎo)體材料,電子氣體2016年的國(guó)內(nèi)市場(chǎng)需求為48.02億,占比14%。目前常用的電子氣體純氣有60多種,混合氣80多種。中國(guó)電子氣體經(jīng)過(guò)近10年的發(fā)展,國(guó)內(nèi)涌現(xiàn)了一些生產(chǎn)質(zhì)量穩(wěn)定,能夠被半導(dǎo)體客戶接受的電子氣生產(chǎn)企業(yè)。但是,與巨大的、快速發(fā)展的國(guó)內(nèi)需求相比還遠(yuǎn)遠(yuǎn)不夠。
國(guó)外電子氣體企業(yè)多為大型跨國(guó)公司,具有較強(qiáng)的實(shí)力和技術(shù)積淀,業(yè)務(wù)涵蓋范圍較寬,可以同時(shí)為企業(yè)打包提供很多氣體服務(wù),具有很強(qiáng)競(jìng)爭(zhēng)力。國(guó)內(nèi)電子氣體生產(chǎn)企業(yè)與國(guó)外大公司相比有較大差距,有著巨大的發(fā)展空間。
目前國(guó)內(nèi)電子氣體發(fā)展問(wèn)題具體表現(xiàn)為:1、產(chǎn)業(yè)整體規(guī)模不大,國(guó)產(chǎn)化率低,企業(yè)規(guī)模小,缺乏領(lǐng)軍型企業(yè),容易被受到國(guó)外大企業(yè)排擠和打壓;2、高端制造方面的新材料技術(shù)不足,技術(shù)門檻低的氣體種類大量重復(fù)建設(shè)和擴(kuò)產(chǎn),無(wú)序競(jìng)爭(zhēng)現(xiàn)象嚴(yán)重;3、部分電子氣體企業(yè)是從大化工行業(yè)或工業(yè)氣體轉(zhuǎn)型而來(lái),其品質(zhì)意識(shí)、管理理念和安全管理水平不到位,造成個(gè)別產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定性欠佳。
新思界行業(yè)分析師表示,目前,我國(guó)電子氣體還屬于電子材料發(fā)展的短板,總體產(chǎn)業(yè)規(guī)模較小,個(gè)別企業(yè)實(shí)力不足,而此時(shí)中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)從之前的千億扶持計(jì)劃,到中國(guó)制造2025,恰逢新興增長(zhǎng)點(diǎn)的孕育崛起期,因此中國(guó)電子氣體產(chǎn)業(yè)面臨著前所未有的發(fā)展機(jī)遇。因此建議:國(guó)家應(yīng)落實(shí)和完善對(duì)該類企業(yè)的財(cái)稅、資金等優(yōu)惠政策支持,加大財(cái)政資金、大基金和金融部門的扶持力度,引導(dǎo)集成電路廠家使用國(guó)產(chǎn)電子氣體;企業(yè)應(yīng)加快前瞻布局,加速應(yīng)用推廣,努力提升技術(shù)創(chuàng)新和管理水平,加強(qiáng)質(zhì)量管控,用過(guò)硬產(chǎn)品為客戶服務(wù)。
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